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题目内容 (请给出正确答案)
[单选题]

反应离子刻蚀RIE的主要特点是()。

A.只属于物理性刻蚀

B.只属于化学性刻蚀

C.既有物理刻蚀又包含化学刻蚀

D.以上选项都不正确

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