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[判断题]

超精密加工是指亚微米级尺寸精度和纳米级表面粗糙度的加工技术。（)

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第1题

目前精密加工精度可以达到0.1um，又称为（)。

A.微米加工

B.亚微米加工

C.微微米加工

D.纳米加工

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第2题

加工精度在1μm~0.1μm，表面粗糙度在Ra0.1μm以下的加工方法称为（)。

A.一般加工

B.高精度加工

C.精密加工

D.超精密加工

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第3题

当精密坐标镗床工作台镶条调整不当时，会使（)降低，导致加工工件孔距误差超差。

A.重复定位精度

B.定位精度

C.反向精度

D.移动精度

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第4题

精密与特种加工技术能解决许多加工难题，但目前实际应用仍有难度的是（)。

A.难切削材料加工

B.复杂型面加工

C.光整、超精密加工

D.分子、原子级加工

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第5题

大型精密箱体工件加工的主要工艺特征是（)。

A.外形尺寸大

B.形状复杂

C.加工个工作量大，加工困难

D.加工尺寸精度要求高

E.各加工表面形位公差要求高

F.加上表面要充分消除内应力，以减少加工变形

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第6题

下面哪项不是超精密加工的机床应具有的（)？

A.较低的抗振性

B.可靠的微量进给装置

C.高回转精度的主轴部件

D.低速运行特性好的工作台

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第7题

干法刻蚀由于图形的保真度比较好，是亚微米和深亚微米尺寸小刻蚀器件的主要方法。（)

此题为判断题(对，错)。

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第8题

特征尺寸（CD)是衡量集成电路设计和制造工艺水平的重要尺度，特征尺寸为（)被称为深亚微米工艺技术层次。

A.40nm

B.0.25um

C.0.35um

D.14nm

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第9题

尺寸精度是指加工后零件的直径、长度和表面间距离等尺寸的实际值与理想值的偏离程度。（)

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第10题

镗削加工存在的质量问题（)尺寸精度达不到图样要求。

A.包括

B.是指

C.不包括

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第11题

精密机床零件的修复：各类精密机床的加工精度和使用寿命取决于精密零件的制造和装配精度，设备大修理中，零件的制造是零件恢复精度的一种手段。（)

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