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第9题
多孔Al2O3膜的感湿机理的理想化模型如下图所示。在此模型中，认为Al2O3膜中的气孔形状近似于细长的圆管。而且
多孔Al2O3膜的感湿机理的理想化模型如下图所示。在此模型中，认为Al2O3膜中的气孔形状近似于细长的圆管。而且气孔均匀地在膜表面垂直地钻蚀到膜的底部，在基底铝和多孔氧化铝之间还存在很薄的一层，称之为阻档层，阻挡层的存在对膜的性能带来影响。由图的理想模型可看到，气孔可以穿过Al2O3层而达到铝基底上，而且，这些气孔的直径和间隔变化不大，分布比较均匀。这样当环境湿度发生变化时，膜中气孔壁上所吸附的水分子的数量也随之发生变化，从而引起Al2O3膜电特性的改变。试根据此模型建立等效电路，并据此分析多孔Al2O3膜的感湿机理。
